Der Fachausschuss 1.3 setzt sich aus folgenden Fachgruppen zusammen:

• FG 1.3.1 Grundlagen und Nanobauelemente
• FG 1.3.2 CMOS
• FG 1.3.3 Bipolar/SiGe
• FG1.3.4 III/V-Halbleiter
• FG 1.3.5 Simulation
• FG 1.3.6 Materialien f眉r nichtfl眉chtige Speicher