Der Mikrosystemtechnologie kommt als Schl眉sseltechnologie des 21. Jahrhunderts eine bedeutsame Rolle zu. Sie erschlie脽t Funktionen in den Bereichen Mechanik, Fluidik, Optik, Chemie und Bioanalytik.
Mikrosysteme vereinigen auf engstem Raum mehrere Funktionen, wobei dann die funktionsbestimmenden Teile zumeist in der gleichen Gr枚脽enskala der Mikroelektronik, die meist ebenfalls ein wesentlicher Bestandteil des Mikrosystems ist, liegen. Dies kommt dem Anspruch nach h枚heren Systemleistungen innovativer Produkte entgegen, die als Mikrosensoren, Mikroaktoren und Mikrosystemen in vielen Bereichen der modernen Technik schon heute Einzug gehalten haben und in der Zukunft eine noch st盲rkere Verbreitung finden werden. Die fortschreitende Miniaturisierung wird dabei auch zu einer Integration von Bereichen der Nanotechnologie f眉hren.
Der Fachbereich "Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie" setzt sich daher das Ziel, an der Erschlie脽ung dieser Arbeitsgebiete f眉r Wissenschaft, Technik, Wirtschaft und in vielen Bereichen des t盲glichen Lebens mitzuwirken.
Dazu sollen insbesondere
die wissenschaftlichen und technischen Grundlagen verbreitert, interdisziplin盲re Kooperationen angeregt, die Aus- und Weiterbildung gef枚rdert, die Kooperation von Wissenschaft und Wirtschaft verbessert, die Schaffung geeigneter Innovationsbedingungen f眉r einen Markterfolg der Mikrosystemtechnik unterst眉tzt werden.
Fachtagungen und Workshops
- Mikrosystemtechnik Kongress
- GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration
- GMM Maskentechnik Konferenz European Mask and Lithography Conference EMLC
- GMM-Tagung Energieautonome Sensorsysteme
Der Fachbereich 4 gliedert sich in die Fachaussch眉sse
4.1 - Grundsatzfragen der Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie
4.2 - Mikrooptik und Photonik
4.3 - Sensorik聽und Sensorsysteme
4.4 - Mikroaktorik
4.6 - Funktionelle Grenzfl盲chen
4.7 - Mikro-Nano-Integration
4.8 - Werkstoffe und Fertigungsverfahren
